Latar Belakang Aplikasi
Proses etsa kering banyak diadopsi dalam manufaktur chip. Wafer silikon ditempatkan sebagai elektroda positif di bagian bawah ruang etsa. Pelat distribusi gas dengan lubang-lubang kecil yang rapat, berfungsi sebagai elektroda negatif, dipasang di atas ruang. Dengan tegangan yang tepat dan gas etsa plasma asam yang dimasukkan, fabrikasi mikro dilakukan pada wafer silikon di dalam ruang bersuhu tinggi sesuai dengan pola sirkuit yang ditentukan oleh litografi, sehingga mengikis permukaan wafer hingga lebar garis dan kedalaman yang dirancang serta membentuk sirkuit terintegrasi mikro.
Elektroda atas dan bawah bersentuhan langsung dengan plasma. Saat mengikis wafer silikon, plasma juga mengikis kedua elektroda. Elektroda mengalami korosi fisik dan kimia secara bertahap dari gas etsa. Setelah aus hingga tingkat tertentu, elektroda harus diganti untuk menjamin etsa yang seragam. Lubang-lubang yang terdistribusi merata pada elektroda atas (shower head / pelat distribusi gas) akan menyimpang dimensinya karena korosi gas etsa dan perlu diganti ketika batas toleransi terlampaui.

Analisis Solusi
🔹 Pengujian pada pemesinan silikon monokristalin dengan bor mikro PCD φ0,45 mm menunjukkan pengikisan tepi lubang minimal. Di bawah inspeksi mikroskop, toleransi kebulatan lubang kurang dari 0,005 mm, akurasi dimensi dalam ±0,003 mm, dan kekasaran permukaan ≤Ra0,2 μm, memenuhi persyaratan pelanggan.
🔹 Dalam pengujian awal, bor menunjukkan keausan tepi yang sedikit setelah pemesinan 3500 lubang dan tetap dapat digunakan.
🔹 Bor mikro PCD Worldia dibagi menjadi empat seri (WZ1, WZ2, WZ3 dan WZ-X) sesuai dengan bahan yang diproses dan skenario aplikasi, dengan rentang diameter φ0,1-φ1,0 mm. Bor PCD padat mengadopsi desain pemusatan diri, mendukung rasio kedalaman terhadap diameter maksimum hingga 57:1. Alur chip diproduksi dengan penggilingan integral untuk evakuasi chip yang mulus. Hasil akhir dinding lubang yang dimesin dapat mencapai Ra0,2 μm atau lebih baik dengan sedikit pengikisan tepi lubang. Ujung bor PCD memberikan ketahanan aus yang sangat baik, umur alat yang panjang, dan konsistensi dimensi yang tinggi. Produk-produk ini memenuhi permintaan pemesinan lubang mikro untuk silikon monokristalin, silikon polikristalin, SiC, keramik, silika lebur, dan bahan lain dalam industri semikonduktor.

Sumber Data: Laporan Uji Alat dari Departemen Teknologi Alat Presisi Beijing Worldia Diamond Tools CO., Ltd.

 Untuk informasi lebih lanjut, silakan kunjungi: 

📌www.worldia-tools.com

📍Atau kirim pertanyaan ke: info@worldia-tools.com